| 切断 | 該当なし | ||||
| 埋込 | 該当なし | ||||
| 表面 | Abrasive / Size | Load - lbs [N] / Specimen | Base Speed [rpm] | Relative Rotation | Time [min:sec] |
| カルビメット | 320 [P400] グリット SiC 水冷却 | 6 [27] | 300 |
|
平面まで |
| ウルトラパッド | 9 µm MetaDi シュープリーム・ダイアモンド | 6 [27] | 150 |
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10:00 |
| トリデント | 3 µm MetaDi シュープリーム・ダイアモンド | 6 [27] | 150 |
|
8:00 |
| ケモメット | 0.02 －0.06 µm マスターメット又はマスターメット 2 コロイドシリカにアタックポリッシュをプラス | 6 [27] | 150 |
|
5:00 |
